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第一百零三章 二氧化铈

我的老師是學霸 鴻塵逍遙 2724 2024-01-31 01:10

  第一百零三章

  顧律的眉頭輕輕皺起。

  據他所知,這種米國新型的BuehlerPhoenixBets型抛光機,抛光精度,應該能達到0.1納米左右。

  而據黃師傅所說,他們通過這台設備,抛光後得到的矽晶片,精度最高的一次才為1.06納米。

  兩者差了十倍。

  這個數據不對,很不對!

  一定是哪個環節出了問題。

  矽晶片,準确的來說是屬于材料學領域。

  但各學科之間是相互關聯的。

  顧律在鑽研物理學中的半導體物理的時候,不僅研究了矽晶片中原子狀态和電子狀态以及各器件内部電子過程,還對矽晶片的整個制作流程,查閱了相當多的專業書籍和文獻。

  否則,他也不會在郭院士面前,大包大攬的承接下此事。

  隻不過,面前的情況,确實讓顧律有些想不通。

  要麼,就是設備本身有問題,海躍公司從米國進口來的這批設備是假貨!

  但這幾率不大。

  要麼,就是在操作過程中,在哪個環節出了纰漏。

  顧律曾在一本書中,看到過BuehlerPhoenixBets型抛光機的結構圖紙。

  顧律把眼前的設備和記憶中圖紙上所描述的結構對比了一下,發現完全是吻合的。

  那應該就不是買到假貨了。

  顧律起身,拍拍手上的塵土,對黃師傅笑着開口,“黃師傅,實際上機操作一下吧,我看一下效果。”

  黃師傅點點頭,幾分鐘後拿着一塊未經過抛光處理矽晶片回來。

  跟着黃師傅回來的,還有幾位穿着工作服的年輕員工。

  好奇的目光,打量着張經理身旁身姿挺拔的顧律。

  “黃師傅,開始吧。”在幾人的注視下,顧律泰然自若,目光望向黃師傅。

  抛光機的操作很簡單。

  插上電源,将矽晶片擺放在相應的夾具上,最後加入抛光液。

  按下紅色按鈕,啟動機器。

  抛光機開始工作起來。

  顧律就圍着這台抛光機,全方位的觀察。

  周圍的衆人全部屏住呼吸,靜靜的等待着。

  于是乎,這片區域内,除了機器轉動的聲音外,隻剩下顧律在地面上踱步的聲音。

  時間在一點點流逝。

  這種新型的抛光機,抛光時間是三十分鐘。

  “不應該啊!”顧律摸着下巴,喃喃一聲。

  眼前發生的事情,确實觸及到他的知識盲區了。

  黃師傅放置的矽晶片位置,雖然在一定程度上,導緻在抛光過程中切削深度的增加,但也不至于,精度會比預計的數值增加十倍。

  機器的工作過程,顧律全程看下來了,也并沒有發現什麼異常。

  按理說,十倍的精度差,不可能出現才對。

  難道今天要翻車了?

  在抛光時間快要結束的時候,顧律目光瞥了一眼黃師傅背後,接着視線緊緊鎖住那個藍色的塑料液體瓶。

  對了,抛光液!

  顧律腦中靈光一閃,瞬間明白問題的關鍵所在。

  在抛光過程中,除了抛光機以及被抛光的物件,用來進行輔助抛光作用的抛光液,也能極大的影響被抛光物件的精度。

  往往,不同型号的抛光機,不同被抛光的物件,最适宜使用的抛光液是不同的。

  “你們用的是哪種抛光液?”顧律沉聲問道。

  “呃……”黃師傅愣了一下,随口回答,“我們現在使用的納米三氧化二鋁粉末抛光液。”

  林經理一臉緊張的看向顧律,“顧先生,有什麼問題嗎?”

  有問題,問題大了!

  納米三氧化二鋁粉末當做磨料,加入BuehlerPhoenixBets型抛光機,進行單矽晶片的精密抛光,本身就是極為不智的一種舉動。

  因為三氧化二鋁這個東西,實在是太硬了啊!

  即便是納米級别的三氧化二鋁粉末,硬度也不會減少。在抛光過程中,肯定會對矽晶片造成損傷。

  另一方面,根據Preston公式,MRR=ρwNV。

  抛光磨料硬度越高,對應的切削深度越大,塑性磨削作用越弱。

  他想,他已經知道,為什麼使用新設備抛光後的矽晶片,在精度方面一直達不到要求了。

  “抛光液用錯了。”顧律眼神的平淡的看了張經理一眼,開口說道。

  “難道不是用三氧化二鋁粉末抛光液嗎,我之前在國營大廠裡,一直都是用的這個。”說話的是黃師傅。

  顧律笑着開口解釋,“對于那些精度不高的矽晶片,使用納米三氧化二鋁粉末當然沒問題,因為制備簡單,成本還低,但對于高精度抛光機,這種高硬度的抛光磨料,就明顯不适用了。”

  “那顧先生,我們應該用哪種,當做納米磨料?”張經理問。

  “二氧化铈。”顧律請吐出四個字。

  “二氧化铈?”張經理眉頭皺起。

  “你們這沒有這種抛光液?”顧律問。

  “呃……沒有。”林經理老老實實的回答。

  老實說,這種抛光液,在國内都不常見。

  “那你們這瓶三氧化二鋁抛光液,是從外面買過來的,還是自己制備的?”顧律接着問。

  林經理開口,“我們自己做的,我們有一條專門的生産線。”

  他們海躍公司,除了售賣一些半導體材料外,抛光液也是他們的産品之一,不過貨量不大。

  除了自産自銷的一些外,沒多少流入市場上。

  顧律倒是不意外。

  抛光液這東西生産起來不複雜,搭建一條生産線很簡單。

  “帶我過去看看吧,我試試能不能制作出來二氧化铈抛光液。”顧律看向張經理,緩緩開口。

  張經理愣了一下,“您……親自制作?”

  顧律聳聳肩,輕松的語氣,“沒必要那麼大驚小乍,這東西沒什麼技術含量,隻要材料有,稍微有點化學常識的人都會弄。”

  “走吧,帶我去看看。”顧律挑挑眉。

  “那這邊……”林經理指着快要結束抛光過程的設備,猶豫的開口。

  “不用再繼續看了,反正結果肯定和你們之前得到的一樣。沒必要浪費時間。”

  “好吧,那顧先生,這邊請。”

  抛光液生産線放在了工廠那棟五層小樓的頂樓。

  走進房間,可以看到兩名員工在裡面忙碌的工作着。

  顧律來到實驗台,看了一眼桌上瓶瓶罐罐拜訪的那一堆化學試劑,然後掃了一眼整個房間内的大緻設備,淡淡笑了笑。

  “運氣還不錯,制備二氧化铈的材料和設備基本都有,接下來,交給我就好了。”

  ………………

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