第一百零四章

　　正所謂，數理化不分家。

　　顧律是數學和物理的雙料博士，沒有理由，化學能夠差到哪去。

　　納米二氧化铈粉末的制備，非常簡單。

　　首先，稱取一定量的Ce(NO3)3-6H2O和六亞甲基四胺，配置成1：5的混合液。

　　第二步，混合液置于75攝氏度恒溫水箱中水浴保溫半小時。

　　第三步，在室溫環境下陳化，用離心法分離沉澱。

　　最後一步，将沉澱洗滌後置于真空幹燥箱中，在80攝氏度下烘幹。

　　這樣，經過以上四步之後，就可以得到納米二氧化铈超細粉體。

　　二氧化铈粉體呈球形，徑粒分布較均勻，徑粒約為10納米。

　　更重要的是，二氧化铈質地較為柔軟，作為抛光磨料再也适合不過。

　　穿戴好白色的實驗服，戴好手套口罩，顧律有條不紊的開始操作。

　　将近一個小時後，顧律提着一個藍色的塑料小瓶，走出房間。

　　“顧先生，怎麼樣？”一直在門外等候的林經理走上前來問道。

　　“一切順利。”顧律摘下口罩，笑呵呵的把手中的塑料瓶遞給張經理，“我把實驗服換下來，然後我們再一塊去樓下車間試試效果。”

　　…………

　　幾分鐘後，顧律和張經理兩人再次走進車間。

　　黃師傅拿着一塊矽晶片闆，一臉苦笑的走過來，“和顧先生說的一樣，這次的精度測試和之前相同，表面粗糙度都在1納米以上。”

　　顧律接過那塊矽晶片，放在手中翻轉仔細看了一下，然後用手指感受了一下觸感，點點頭，“應該就是抛光液的原因，正好二氧化铈抛光液已經制備出來了，再上機試一下吧。”

　　“我想這次，結果肯定會和之前大不相同的。”顧律嘴角上揚，語氣中帶着無比的自信。

　　抛光機夾持住矽晶片，接着放入納米二氧化铈粉末抛光液，最後，按下啟動按鈕。

　　機器開始運轉。

　　顧律抱着胳膊，雙眼緊盯着儀器。

　　同時，腦海中不停回憶着在普林斯頓大學圖書館中，看過關于這方面的内容。

　　在單矽晶片的化學機械抛光過程中，是主要存在化學腐蝕作用和機械磨削作用。

　　材料的去除，首先源于化學腐蝕作用。一方面，在抛光過程中，矽片表面局部接觸點産生高溫高壓，從而導緻一系列複雜的摩擦化學反應。

　　納米二氧化铈抛光液，其具有較高堿性組分和較柔軟的納米磨料顆粒。

　　在這兩者作用下，使矽片表面形成腐蝕軟質層，從而有效地減弱磨料對矽片基體的刻劃作用，提高抛光效率和抛光表面質量，相應的，提高抛光後矽晶片的精度。

　　…………

　　半個小時的時間，一晃眼就過去。

　　機器和矽晶片摩擦的聲音逐漸減小，直到消失。

　　設備停下後，張經理和黃師傅齊齊把目光看向顧律。

　　顧律笑了笑，“拿出來吧。”

　　黃師傅小心翼翼的将通過使用二氧化铈抛光液制得的矽晶片取出來。

　　“你們用什麼設備看？”顧律掃視了一眼，發現這邊并沒有顯微鏡之類的設備。

　　“樓上有一台原子力顯微鏡。”張經理笑着開口。

　　原子力顯微鏡？

　　顧律知道，這玩意似乎貴的很。

　　再次回到那棟五層小樓，不過那台原子力顯微鏡就在一樓，倒是省去了爬樓的功夫。

　　走進那棟十幾平的小房間，顧律一眼就看到了張經理口中所說的那台原子力顯微鏡。

　　“米國DI公司産的MutimodeSPM版原子力顯微鏡？”在實驗室待過一段時間的顧律，一眼就認出來。

　　“你們買的？”顧律扭頭看向張經理。

　　據他所知，這台顯微鏡可不便宜，市場價，大概在二三十萬元！

　　就算是大部分高校的實驗室，都買不起這台設備。

　　張經理苦笑着搖搖頭，“租的。”

　　顧律：“……”

　　好吧，看這家公司連買二十多萬的抛光機設備都心疼成這樣子，讓他們買一台二十多萬的顯微鏡幾乎不可能。

　　但租的話……似乎也不便宜啊！

　　顧律湊近顯微鏡看了一眼。

　　“這是個殘次品。”還未等顧律看出來什麼，張經理主動問顧律解釋，“這台是淘汰下來的，幾百塊錢一年，很便宜，我們就租下來了。”

　　顧律：“……”

　　真的是毫不羞愧的直接承認下來了呢。

　　張經理似乎并不在意承認自己公司就是窮的一個事實。

　　“咳咳。”顧律尴尬的咳嗽了一下，“我們還是抓緊時間看一下數據吧。”

　　“顧先生，我來，還是你來。”黃師傅雙手捧着那塊矽晶片。

　　顧律戴上手套，搓搓手，“我來吧。”

　　原子力顯微鏡，回國之後顧律已經好久沒有摸過了。

　　好不容易有這個機會，顧律還是蠻想過過手瘾的。

　　顧律拉過一把椅子，臉上帶着淡淡的期待坐下。

　　然後打開光源，小心翼翼的把顯微鏡移到自己面前。

　　不過，顧律很快就後悔了。

　　怪不得張經理說這台顯微鏡是個殘次品。

　　特麼的實在是太坑了啊！

　　顧律這邊移動一下探針，顯示器那邊，足足卡了将近三十秒，才彈出一個數據。

　　移一下，卡三十秒，移一下，卡三十秒。

　　這三十秒裡，顧律就和那一閃一閃的顯示器大眼瞪小眼。

　　光是調試設備，顧律就用了十多分鐘。

　　“顧先生，這台顯示器有點不太靈敏，所以，有時候，要采用一些傳統暴力手段。”黃師傅在一旁讪笑一下，然後走上前，右手成掌，猛地一下拍在顯示器上。

　　砰――！

　　沉悶的聲音響起，顯示器畫面模糊一下後，瞬間浮現出最新的數據。

　　顧律：“……”

　　這方式，确實夠傳統！

　　顯示器卡頓怎麼辦，多半是欠揍了，拍一下就好啦！

　　于是，在稍顯閉塞的房間裡，出現了一副顧律猛拍顯示器的畫面。

　　和顯示器折騰了半小時後，屏幕上終于顯示出這塊矽晶片的數據。

　　Ra=0.089，RMS=0.113.

　　在1微米*1微米範圍内，微觀表面的粗糙度，降低到驚人的0.089納米。

　　比之前測得的最低值1.06納米，足足降低了12倍！

　　…………

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